随着晶圆技术发展到更小的线宽，准确控制液体流量对于获得高产量变得越来越重要；在这些关键过程中，流量的控制和管理必须依赖于流体输送和分配系统，这些系统始终提供准确性 - 以保持过程完整性并更大限度地减少废料。
蠕动泵在完全封闭的系统中提供卓越的流速稳定性和计量精度，实现没有污染的流量控制。流动仅与一个不间断长度的Style 100 SC高弹性硅复合泵管元件内部接触，提供平滑，无缝的流动，以防止浆料颗粒聚集，从而导致划痕缺陷和降低产量。
泵提供非常低的剪切力，避免损坏浆料聚合物链，这会对去除率，抛光均匀性，划痕密度或深度产生负面影响。在CMP和其他关键应用中，泵故障是不可接受的，因为它会导致晶片损坏和高废品率。
免维护无刷电机驱动器，适用于连续工作和滚子和滚珠轴承泵头结构，可生产高度可靠和强大的泵。该泵尺寸小，适用于有限空间的晶圆厂安装，许多型号包括带微处理器控制校准的数字驱动器，以及密封冲洗外壳中的LCD显示器。
