用于CMP应用中的浆料输送和分配的其他技术，例如流动回路控制器，通常需要内部空气，这通常会在处理工具中呈现清洁问题。但是使用
精密蠕动泵，浆料始终不会在管道内受到污染。而且，使用Style 100 RF硅胶管，即使在连续运行3-6个月后，与旧的蠕动管配方相关的散裂问题也不会成为问题 - 并且压力和流量一致性没有损失。
精密
蠕动泵适用于各种管尺寸，高科技管材和新型先进泵头设计可长时间长时间提供准确，可靠和可重复的连续流体传输。准确挤出可提高管道寿命，流量，精度和压力性能。
多种管道选项和各种高性能泵头可满足半导体生产的挑战性要求，包括输送钨和氧化物浆液，去离子水和氢氧化铵。对于这些关键应用，是“当性能重要时”的理想选择。
